KUKA développe un robot mobile pour la production de semi-conducteurs

La production de semi-conducteurs est complexe. Jusqu’à présent, il n’existait pas de fabrication mobile automatisée de semi-conducteurs permettant le transport de pièces d’une étape à l’autre. Ceci a changé avec la KUKA Wafer Handling Solution.

13 août 2019

Les semi-conducteurs sont partout

Les petites puces informatiques intelligentes, appelées semi-conducteurs se trouvent entre-temps partout dans notre quotidien : dans les smartphones, les tablettes ou même les voitures. Ce composant a une importance capitale en particulier pour les mégatendances du secteur automobile. Lors de la fabrication de semi-conducteurs, l’élément chimique qu’est le silicium est usiné sous forme de plaquettes. Lors de la fabrication dans des conditions de salle blanche, les plaquettes sont stockées dans des cassettes spéciales en plastique, puis usinées aux cours de nombreuses étapes de processus La demande de semi-conducteurs va continuer à augmenter. C’est la raison pour laquelle les fabricants veulent poursuivre l’automatisation du processus de fabrication.

Manipulation automatisée de plaquettes : KUKA Wafer Handling Solution

Avec la KUKA Wafer Handling Solution, KUKA a développé la première solution au monde provenant d’un seul fournisseur se chargeant du transport et de la manipulation automatisée de cassettes de semi-conducteurs. L’application est composée d’un Automated Guided Vehicle (AGV) standardisé et du robot léger LBR iiwa ayant fait ses preuves dans la pratique. Un système de préhension sophistiqué a été développé pour cette application. Le logiciel provient également de KUKA.

La solution robotique mobile pour l’industrie des semi-conducteurs se déplace de façon autonome.

Solution robotique pour l’industrie des semi-conducteurs dans un environnement de salle blanche

La plate-forme mobile KMR 200 CR se charge de la mobilité. La plate-forme est dotée de roues Mecanum permettant un déplacement omnidirectionnel dans toutes les directions. Des capteurs se trouvant sur la plate-forme perçoivent l’environnement en temps réel et permettent ainsi d’éviter les collisions. Le LBR iiwa apte à la Collaboration Homme-Robot est monté sur la plate-forme. La sensibilité du robot permet une manipulation sûre et sans chocs des cassettes sensibles de plaquettes. Le troisième composant de l’application est un préhenseur conçu sur mesure. Le système de préhension est breveté par KUKA.

 

L’application en salle blanche de KUKA permet une automatisation sûre de la manipulation des plaquettes.

Le logiciel guide la flotte de robots mobiles

Pour l’application en salle blanche de manipulation de plaquettes, le matériel comme de logiciel viennent de chez KUKA. La solution logicielle de manipulation de plaquettes s’intègre sans problème dans la gestion des processus industriels (MES) des producteurs de semi-conducteurs. Le gestionnaire de flotte intégré dans le logiciel gère les instructions de transport afin de garantir une fabrication de semi-conducteurs automatisée de façon optimale. Toutes les solutions proviennent d’un seul fournisseur et sont certifiées. Ceci permet de bénéficier de temps de mise en service extrêmement courts, ce qui en fait le système de manipulation le plus flexible sur le marché.


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