Cleanroom robot solutions for semiconductor fabrication

KUKA technologies and robots for cleanrooms meet the high requirements for purity, cleanliness and functionality in semiconductor production. They combine extreme agility and maximum precision – even with short cycle times.

クリーンルームと安全を重視し、厳しい要件に対応

KUKAはクリーンルーム専用に、高感度マイクロエレクトロニクスの製造と安全な取扱いを可能にする低粒子で低排出ガスのロボット、コボット(協働ロボット)、プラットフォームを提供。自社の製造もこの厳しい条件の下で行っています。

システムパートナーと共に、ネットワーク機能と製造の柔軟性の要求を満たす完全調整済みのハードウェアとソフトウェアで、半導体業界向けに将来性の高いインダストリー4.0ソリューションを提供します。

半導体製造用ロボット技術

  • クリーンルームロボット

    カプセル化された内蔵ガイドメカニズムとケーブル、統合型駆動技術による高クリーンルーム分類のクリーンルームロボットと (移動式) コボット

     

  • モバイルアプリケーション用ソフトウェア

    インテリジェントな、セミSECS適合ソフトウェアパッケージ

  • エンジニアリング&カスタマーサービス

    要件に合わせてカスタマイズした、用途別のソリューション提供
  • グローバル基準を有する世界中のKUKA TechCenter

    台湾や中国など各所に試験所として設置されたKUKA TechCenter

KUKAの半導体用ロボットと移動式コボット
頭から足先までクリーンルーム仕様

フラウンホーファー研究所の認証取得によりさらに安全性向上
高クリーンルーム級の高精度でスピーディーなロボット

ロボットの開発時にはクリーンルーム関連の基準が考慮されるため、KUKAの標準ロボットはISO基準適合でクリーンルーム用途にも適しています。

洗浄しやすい表面に加え、各軸に特殊なプライマーコーティング、シール、塗装仕上げが施されています。標準でESDに適合しており、フラウンホーファー生産技術・オートメーション研究所 (IPA) によってクリーンルーム適合性が試験されています。

シリコンウェハー製造専用クリーンルーム

フラウンホーファー研究所は、超クリーン製造と汚染検査の分野で世界をリードする研究機関です。KUKAとは18年以上にわたり密接に共同研究を行っています。まずはフラウンホーファー検査済デバイス®とCSM®クリーンルーム認定関連、そしてクリーン度要件を満たすロボット設計の観点から説明します。

フラウンホーファーIPA フランク・ビュルガー博士

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精密部品を安全に取り扱うクリーンルーム用移動式コボット

明日の工業生産に求められるのは、インテリジェントなネットワーク化、モジュール化、多用化された移動式の製造と物流コンセプトです。
移動式クリーンルーム用コボット(KMR iiwa)は、工程から工程へ精密部品(ウェハー、マスク、キャリア)を安全に搬送。安全柵なしで自律的にあらゆる方向に移動が可能です。

KUKA移動式コボットにより、キャリアの超高精度で超繊細に優しく安全なキャリアのハンドリングが可能

モビリティ分野でのカスタマイズされたテストから統合可能な総合ソリューションまで

半導体製造業とエレクロトニクス産業向けにカスタマイズした総合テストを世界中の試験所で実施。プロジェクト、用途、ニーズに合わせて、実現性調査、インターフェーステスト、24時間連続テストから最終ソリューションに至るまでを行っています。

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