KUKA는 반도체 생산용 모바일 로봇을 개발합니다

반도체의 생산은 복합적입니다. 한 단계에서 다음 단계로 구성품을 운반할 수 있는 모바일 자동화 반도체 제조 기법은 지금까지 없었습니다. 이제 KUKA 웨이퍼 핸들링 솔루션으로 변화를 가져올 것입니다.

2019년 8월 13일

반도체는 어디에나 사용됩니다

반도체라고 불리는 작고 스마트한 컴퓨터 칩은 이제 일상 어디서나 볼 수 있게 되었습니다. 스마트폰, 태블릿, 자동차에서도 사용됩니다. 특히 자동차 업계의 주요 트렌드로 반도체가 매우 중요한 자리를 차지하고 있습니다. 반도체 제조 시 화학 원소 실리콘이 웨이퍼의 형태로 가공됩니다. 웨이퍼는 클린룸 조건에서 제조 시, 특수한 플라스틱 카트리지 안에 보관되고, 수많은 공정 단계에서 가공됩니다. 반도체에 대한 수요는 계속 높아질 전망이므로, 제조사들은 제조 공정 역시 자동화로 계속 진행하려고 합니다.

웨이퍼의 자동화된 처리: KUKA 웨이퍼 핸들링 솔루션

KUKA는 KUKA 웨이퍼 핸들링 솔루션을 통해 세계 최초 원스톱 솔루션을 개발하여 반도체 카트리지를 자동으로 운반하고 처리할 수 있게 되었습니다. 이 애플리케이션은 표준화된 무인 운반 차량(AGV)과 현장에서 검증된 경량 로봇 LBR iiwa.으로 구성되어 있습니다. 또한 세련된 그리퍼 시스템이 개발되었습니다. 소프트웨어도 KUKA에서 제작되었습니다.

반도체 산업을 위한 모바일 로봇 솔루션이 자율적으로 작동합니다.

클린룸 환경에서의 반도체 산업용 로봇 솔루션

모빌리티는 모바일 플랫폼 KMR 200 CR에서 제공됩니다. 플랫폼은 모든 방향으로 매우 정밀하게 이동하는 매카넘 휠을 갖추고 있습니다. 플랫폼의 센서는 실시간으로 주변 환경을 인지하여 충돌을 방지합니다. 인간/로봇 협업이 가능한 LBR iiwa는 플랫폼에 설치되어 있습니다. 로봇의 감도는 민감한 웨이퍼 카트리지를 안전하고 흔들림 없이 처리할 수 있도록 합니다. 애플리케이션의 세 번째 컴포넌트는 맞춤식의 그리퍼입니다. 이 그리퍼 시스템은 KUKA에서 특허를 획득했습니다.

 

KUKA 클린룸 애플리케이션은 웨이퍼 처리를 안전하게 자동화합니다.

소프트웨어가 모바일 로봇 그룹을 제어합니다

웨이퍼 처리용 클린룸 애플리케이션은 하드웨어뿐 아니라 소프트웨어도 KUKA에서 제작하고 있습니다. 웨이퍼 처리 소프트웨어 솔루션은 반도체 생산의 생산 관리 시스템(Manufacturing Execution System)으로 쉽게 적용이 가능합니다. 소프트웨어에 통합된 플릿 매니저는 운반 오더를 제어하며 최적의 자동화된 반도체 제조를 보장합니다. 모든 솔루션은 한 곳에서 제작되고 인증되었습니다. 이를 통해 시운전 기간이 매우 짧아져서 이 시스템은 시장에서 가장 유연한 핸들링 시스템이 되었습니다.


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