반도체 제조를 위한 클린룸 로봇 솔루션

KUKA의 기술과 클린룸 로봇은 반도체 생산 시의 엄격한 환경적 조건에 대한 높은 요건을 충족합니다. 유연한 동작과 높은 정확도로 사이클 타임 또한 단축할 수 있습니다.

반도체 산업의 충족되는 완벽한 조건: KUKA는 클린룸에 요구되는 조건과 안전을 매우 중요하게 여기고 있습니다.

KUKA는 클린룸 용으로 특수 제작된 고감도 미세 전자 장치의 안전한 핸들링과 제조를 위한 입자 및 배출량이 적은 로봇, 협업로봇 및 플랫폼 등을 제공합니다. KUKA의 자체 생산 역시 이러한 까다로운 클린룸 조건 속에서 진행됩니다.

KUKA는 시스템 파트너와 함께 완벽하게 조화를 이루는 하드웨어 및 소프트웨어를 통해 생산 의 유연성과 연결성을 요구하는 반도체 산업의 미래를 위한 인더스트리 4.0 솔루션을 제공합니다.

극도로 청정한 생산 환경에서 작업하는 인간과 로봇: 미래의 고도 자동화 반도체 공장.

수술실보다도 높은 청정도를 자랑하는 작업환경: Infineon GmbH에서 1등급의 클린룸 환경에서 대량생산되는 반도체 칩.

원스톱 반도체 생산을 위한 로봇 기술

  • 클린룸 로봇

    내부의 캡슐화된 가이드와 라인, 통합된 드라이브 기술 덕에 가능한 높은 청정 등급의 클린룸 로봇 및 (모바일) 협업로봇

     

  • 모바일 애플리케이션 소프트웨어

    지능형 Semi SECS 소프트웨어 패키지.

  • 엔지니어링 & 고객 서비스

    고객이 요구하는 개별 애플리케이션에 맞는 솔루션을 제공합니다.
  • 국제 표준의 글로벌 KUKA 테크센터

    전세계 다양한 지역(중국 대만 등)에 테스트를 위한 실험실로 KUKA 테크센터가 고객을 위해 준비되어 있습니다.

머리부터 발끝까지 요건에 맞게 조정되는 클린룸: KUKA의 모바일 협업 및 반도체 로봇.

높은 청정 등급의 정확하고 빠른 로봇: 프라운호퍼 연구소의 특별 인증으로 확인된 안전성.

로봇의 개발 단계에서 부터 클린룸과 관련된 조건을 고려하여 설계되었습니다. 높은 ISO 등급의 KUKA의 기본 로봇은 많은 클린룸 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.

 관리하기 수월한 특수 표면과 각 축의 특수 베이스 코트, 실링, 도장을 갖추고 있습니다. 기본적으로 ESD 호환되며 프라운호퍼 IPA에서 클린룸 호환성에 대한 테스트가 진행되었습니다.

실리콘 웨이퍼 플레이트 생산을 위해 클린룸은 필수 요소입니다.

프라운호퍼 IPA는 클린룸 생산 및 오염 점검 분야의 세계 최고 연구소 중 하나입니다. 18년 넘게 KUKA와 함께 협업해왔습니다. 한 가지는 프라운호퍼 Tested Device® 및 CSM® 클린룸 인증이고 다른 한 가지는 청결과 관련 로봇 형태입니다.

프랑크 뷔르거 박사, 프라운호퍼 IPA(Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA)

고객의 작업에 맞는 클린룸 호환 키네마틱을 찾아보십시오: 

클린룸 모바일 협업로봇: 민감한 부품의 안전한 핸들링.

미래의 제조 산업에는 지능적으로 연결되고 모듈식이며, 다양한 모바일 제조 및 로지스틱 컨셉이 필요합니다.
모바일 클린룸 협업로봇(KMR iiwa)으로 민감한 부품(웨이퍼, 마스크, 캐리어)을 프로세스에서 다음 프로세스로 안전하게 운반하고 핸들링합니다. 자율적으로 안전 펜스 없이 모든 방향으로 이동할 수 있습니다.

KUKA 모바일 협업로봇으로 높은 정확성과 감도로 캐리어를 조심스럽고 안전하게 핸들링할 수 있습니다.

KUKA 테크센터 실험실: 모빌리티 영역의 적합성 테스트부터 통합형 완전 솔루션까지

국제 실험실에서는 KUKA의 고객을 위해 반도체 생산 또는 전자 산업에 대한 포괄적이고 적합한 테스트를 실행합니다. 프로젝트와 애플리케이션, 필요에 따라 생산 가능성 연구, 인터페이스 테스트, 24시간 테스트, 완성된 솔루션을 제공합니다.

E-Book: 클린룸 용 KUKA 로봇을 이용한 차세대 자동화

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