Cleanroom robot solutions for semiconductor fabrication

KUKA technologies and robots for cleanrooms meet the high requirements for purity, cleanliness and functionality in semiconductor production. They combine extreme agility and maximum precision – even with short cycle times.

반도체 산업의 까다로운 요건에 맞게 구성: KUKA에서는 청정실과 안전을 매우 중요하게 생각합니다.

특별히 청정실용으로 KUKA는 고감도 마이크로 전자 장치의 안전한 핸들링과 제조를 위한 입자 및 배출량이 적은 로봇, 코봇, 플랫폼을 제공합니다. 당사의 자체 생산 역시 이러한 까다로운 청정실 조건에서 진행됩니다.

KUKA는 시스템 파트너와 함께 완벽하게 조화를 이루는 하드웨어 및 소프트웨어를 이용해 생산 유연성과 연결성을 필요로 하는 반도체 산업을 위한 미래의 인더스트리 4.0 솔루션을 제공합니다.

매우 깨끗한 생산 환경에 있는 사람과 로봇: 미래의 고도 자동화 반도체 공장.

수술실보다 깨끗합니다: Infineon GmbH에서 등급 1까지의 청정실 환경에서 반도체 칩 대량 생산.

원스톱 반도체 생산을 위한 로봇 기술

  • 청정실 로봇

    내부의 캡슐화된 가이드와 라인, 통합된 드라이브 기술 덕에 가능한 높은 청정실 등급의 청정실 로봇 및 (모바일) 코봇

     

  • 모바일 애플리케이션 소프트웨어

    지능형 Semi SECS 부합 소프트웨어 패키지.

  • 엔지니어링 & 고객 서비스

    고객에게 필요한 개별적이고 애플리케이션에 맞는 솔루션을 제공합니다.
  • 국제 표준의 전 세계 KUKA 기술 센터

    다양한 소재지(중국 대만 등)에 시험 실험실로 KUKA 기술 센터가 고객을 위해 준비되어 있습니다.

머리부터 발끝까지 청정실에 맞게 조정: KUKA의 모바일 코봇 및 반도체 로봇.

높은 청정실 등급의 정확하고 빠른 로봇: 프라운호퍼 연구소의 특별 인증으로 안전성 확인.

로봇 개발 시 청정실과 관련된 조건을 고려했습니다. 따라서 높은 ISO 등급의 당사 표준 로봇은 많은 청정실 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.

 청소하기 쉬운 특수 표면과 각 축의 특수 베이스 코트, 실링, 도장을 갖추고 있습니다. 기본적으로 ESD 호환되며 프라운호퍼 IPA에서 청정실 호환성에 대한 테스트가 진행되었습니다.

실리콘 웨이퍼 플레이트 생산을 위해 청정실은 필수 요소입니다.

프라운호퍼 IPA는 청정실 생산 및 오염 점검 분야의 세계 최고 연구소 중 하나입니다. 18년 넘게 KUKA와 함께 일했습니다. 한 가지는 프라운호퍼 Tested Device® 및 CSM® 청정실 인증이고 다른 한 가지는 청결과 관련 로봇 형태입니다.

프랑크 뷔르거 박사, 프라운호퍼 IPA(Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA)

고객의 작업에 맞는 청정실 호환 키네마틱을 찾아보십시오: 

청정실 모바일 코봇: 민감한 부품의 안전한 핸들링.

미래의 제조 산업에는 지능적으로 연결되고 모듈식이며, 다양한 모바일 제조 및 로지스틱 컨셉이 필요합니다.
모바일 청정실 코봇(KMR iiwa)으로 민감한 부품(웨이퍼, 마스크, 캐리어)을 프로세스에서 다음 프로세스로 안전하게 운반하고 핸들링합니다. 자율적으로 보호 펜스 없이 모든 방향으로 이동할 수 있습니다.

KUKA 모바일 코봇으로 높은 정확성과 감도로 캐리어를 조심스럽고 안전하게 핸들링할 수 있습니다.

KUKA 기술 센터 시험 실험실: 모빌리티 영역의 적합한 테스트부터 통합형 완전 솔루션까지

국제 시험 실험실에서는 당사의 고객을 위해 반도체 생산 또는 전자 산업에 대한 포괄적이고 적합한 테스트를 실행합니다. 프로젝트와 애플리케이션, 필요에 따라 생산 가능성 연구, 인터페이스 테스트, 24시간 테스트, 완성된 솔루션을 제공합니다.

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