Роботизированные решения для применения в чистых помещениях для производства полупроводниковых приборов

Технологии и роботы KUKA для чистых помещений отвечают высоким требованиям к чистоте, аккуратности и функциональности на производстве полупроводниковых приборов. Они объединяют в себе экстремальную подвижность и максимальную точность даже при небольшой продолжительности такта.

Спроектированы с учетом строгих требований полупроводниковой промышленности: большое внимание в компании KUKA уделяется чистым помещениям и безопасности.

Специально для чистых помещений компания KUKA предлагает роботы, коботы и платформы с низким уровнем выброса частиц и излучения для изготовления высокочувствительной микроэлектроники и надежного манипулирования деталями. Даже наше собственное производство осуществляется при таких строгих условиях чистого помещения.

Компания KUKA вместе с системными партнерами поставляет перспективные решения Индустрии/Industrie 4.0 для полупроводниковой промышленности, которые удовлетворяют требованиям к возможности объединения в сеть и повышения гибкости производства за счет идеально согласованного аппаратного и программного обеспечения.

Человек и робот в очень чистых производственных условиях: высокоавтоматизированная фабрика будущего по изготовлению полупроводников.

Чище чем в операционном зале: массовое производство полупроводниковых чипов в условиях чистых помещений вплоть до категории 1 в компании Infineon GmbH.

Робототехника для производства полупроводников «из одних рук»

  • Робототехника для применения в чистых помещениях

    Роботы для чистых помещений и (мобильные) коботы с высокой классификацией чистого помещения, например, благодаря расположенным внутри, капсюлированным направляющим и проводам, а также интегрированным приводным системам

     

  • Программное обеспечение для мобильных приложений

    Совместимые со стандартом Semi SECS пакеты интеллектуального ПО.

  • Инжиниринг и служба поддержки клиента

    Мы предлагаем индивидуальные решения, специально разработанные под конкретное применение и ваши требования.

  • KUKA TechCenter по всему миру с глобальными стандартами

    В различных местах, в том числе, на Тайване и в Китае клиенты могут использовать центры KUKA TechCenter в качестве тестовых лабораторий.

С головы до ног ориентированы на чистое помещение: роботы для полупроводников и мобильные коботы KUKA.

Точные и быстрые роботы с высоким классом чистого помещения: больше надежности благодаря дополнительной сертификации института им. Фраунгофера.

Уже при разработке наших роботов учитываются важные для чистой комнаты критерии. Так уже наши стандартные роботы с высоким классом сертификации ISO пригодны для многих применений в чистой комнате.

 Они имеют легко очищаемые специальные поверхности, а также специальную грунтовку, уплотнения и лакокрасочные покрытия на каждой оси. Они по умолчанию совместимы с электростатическими разрядами и испытаны институтом им. Фраунгофера на предмет их пригодности для чистых помещений.

Для изготовления кремниевых пластин большое значение играет чистая комната

Институт им. Фраунгофера относится к всемирным ведущим институтам в области стерильного производства и контроля загрязнений. Более 18 лет мы тесно сотрудничаем с компанией KUKA. Во-первых, в рамках сертификации чистого помещения Fraunhofer Tested Device® и CSM®, а во-вторых при проектировании роботов для чистых помещений с соблюдением технических характеристик.

Д-р Франк Бюргер, Институт им. Фраунгофера

Подберите пригодную для чистых помещений кинематику под свои задачи: 

LBR iiwa CR (диаграмма нагрузки 7–14 кг, кобот)

Очень чувствительный робот LBR iiwa пригоден в частности для манипулирования чувствительными субстратами благодаря регулированию положения и упругости.

  • Категория безопасности 3 (сертификат)
  • Pадиус действия: 800–820 мм
  • Класс ISO 3
  • 7 осей
  • Система управления KUKA Sunrise Cabinet
Робот KUKA LBR iiwa в очень чистом окружении
Робот KUKA LBR iiwa в очень чистом окружении

KMR iiwa CR (диаграмма нагрузки робота 7–14 кг, диаграмма нагрузки платформы 170 кг, мобильный кобот)

Робот KMR iiwa подходит для оснащения технологических машин без конструктивных мер.

  • Автономная навигация
  • Всенаправленный
  • Встроенные стандарты Semi
  • Управление парком роботов
  • Свободно изменяемая, модульная система
  • Сертификат (PDF)
Пространственно независимый и очень гибкий робот KMR iiwa создает идеальные предпосылки для требований Индустрии/Industrie 4.0.

KR AGILUS CR (диаграмма нагрузки 6–10 кг)

Очень быстрый и точный робот KR AGILUS в исполнении для чистых помещений — универсальный специалист для многих применений, например, тестирование сетки/кремниевой пластины.

  • Pадиус действия: 706,7–1101 мм
  • Класс ISO 2
  • Встроенная система энергоснабжения
  • Специальная система мелких роботов KR C5 micro
  •  Сертификат (PDF)

KR CYBERTECH CR (диаграмма нагрузки 20 кг)

Робот KR CYBERTECH благодаря своим спокойным и филигранным характеристикам движения предназначен для манипулирования оборудованием для полупроводниковой техники

  • Pадиус действия: 1 810 мм
  • Класс ISO: 5
  • Изящный дизайн — концепция ячеек для экономии места
  • Система управления роботом KR C5
  • Сертификат (PDF)

Мобильные коботы для чистых помещений: надежное манипулирование чувствительными деталями.

Сегодня промышленное изготовление требует объединенную в интеллектуальную сеть, модульную, универсальную и вместе с тем также мобильную концепцию производства и логистики.
Мобильные коботы для чистых помещений (KMR iiwa) гарантируют безопасную транспортировку и надежное манипулирование чувствительными компонентами (кремниевые пластины, матрицы, носители) от одного процесса к следующему. Они могут осуществлять автономную навигацию и перемещаться без защитного забора в любых направлениях.

Мобильный кобот KUKA делает возможным бережное и надежное манипулирование носителями с очень высокой точностью и чувствительностью.

Тестовая лаборатория KUKA TechCenter: начиная с тестирования с учетом индивидуальных требований заказчика, и заканчивая интегрируемыми комплексными решениями в области мобильности

Для наших клиентов мы проводим в международных лабораториях комплексные тестирования с учетом индивидуальных требований клиентов для изготовления полупроводников или электронной промышленности. В зависимости от проекта, приложения и необходимости мы предлагаем технико-экономическое обоснование, тестирование интерфейсов и круглосуточные тестовые запуски вплоть до достижения готового решения.

Электронная книга: Автоматизация следующего уровня с робототехникой KUKA для чистого помещения

Preview

Подробнее о будущем производства полупроводников можно прочитать в бесплатной электронной книге 

Скачать PDF

Ищите партнера по автоматизации?

Воспользуйтесь нашей всемирной сетью партнеров в области электроники 

Найти партнера в непосредственной близости от Вас

Автоматизированное изготовление кремниевых пластин в чистом помещении

Роботы для чистых помещений, сертифицированные по ISO3, обеспечивают безопасное взаимодействие и надежное манипулирование кремниевыми пластинами с максимальной точностью в компании Infineon. 

Мобильные коботы для производства полупроводников

Решение по манипулированию кремниевыми пластинами KUKA — это мобильное робототехническое решение (Semi Mobility), которое делает возможным автоматизированную транспортировку материалов в области изгот

Related content

KUKA Cobot LBR iiwa

LBR iiwa

LBR iiwa – точный робот легкой конструкции для выполнения чувствительных сборочных работ – и, безусловно, стоит клика!

KMR iiwa

KMR iiwa – гибкая и автономно перемещающаяся платформа, доставляющая чувствительного робота туда, где он необходим, – точно и безопасно.

KR AGILUS

Точный и компактный KR AGILUS развивает максимальную скорость. Подробнее о его универсальных возможностях использования.
Industriële Robot

KR CYBERTECH

KR CYBERTECH — это компактный многофункциональный робот для выполнения задач по манипулированию. Узнайте больше о его многогранности!
Настройки файлов «cookie» ОК и открыть KUKA

Этот сайт использует файлы «cookie» (подробнее) для улучшения качества предоставления услуг также в онлайн-режиме. Если Вы продолжаете использовать наш сайт, это означает Ваше согласие на использование только технически необходимых файлов «cookie». Нажимая на «ОК и открыть KUKA», вы также соглашаетесь на использование маркетинговых файлов «cookie». Нажав «Настройки файлов «cookie»», Вы можете выбрать, какие файлы «cookie» будут использоваться.

Настройки файлов «cookie»