Cleanroom robot solutions for semiconductor fabrication

KUKA technologies and robots for cleanrooms meet the high requirements for purity, cleanliness and functionality in semiconductor production. They combine extreme agility and maximum precision – even with short cycle times.

Спроектированы с учетом строгих требований полупроводниковой промышленности: большое внимание в компании KUKA уделяется чистым помещениям и безопасности.

Специально для чистых помещений компания KUKA предлагает роботы, коботы и платформы с низким уровнем выброса частиц и излучения для изготовления высокочувствительной микроэлектроники и надежного манипулирования деталями. Даже наше собственное производство осуществляется при таких строгих условиях чистого помещения.

Компания KUKA вместе с системными партнерами поставляет перспективные решения Индустрии/Industrie 4.0 для полупроводниковой промышленности, которые удовлетворяют требованиям к возможности объединения в сеть и повышения гибкости производства за счет идеально согласованного аппаратного и программного обеспечения.

Робототехника для производства полупроводников «из одних рук»

  • Робототехника для применения в чистых помещениях

    Роботы для чистых помещений и (мобильные) коботы с высокой классификацией чистого помещения, например, благодаря расположенным внутри, капсюлированным направляющим и проводам, а также интегрированным приводным системам

     

  • Программное обеспечение для мобильных приложений

    Совместимые со стандартом Semi SECS пакеты интеллектуального ПО.

  • Инжиниринг и служба поддержки клиента

    Мы предлагаем индивидуальные решения, специально разработанные под конкретное применение и ваши требования.
  • KUKA TechCenter по всему миру с глобальными стандартами

    В различных местах, в том числе, на Тайване и в Китае клиенты могут использовать центры KUKA TechCenter в качестве тестовых лабораторий.

С головы до ног ориентированы на чистое помещение: роботы для полупроводников и мобильные коботы KUKA.

Точные и быстрые роботы с высоким классом чистого помещения: больше надежности благодаря дополнительной сертификации института им. Фраунгофера.

Уже при разработке наших роботов учитываются важные для чистой комнаты критерии. Так уже наши стандартные роботы с высоким классом сертификации ISO пригодны для многих применений в чистой комнате.

 Они имеют легко очищаемые специальные поверхности, а также специальную грунтовку, уплотнения и лакокрасочные покрытия на каждой оси. Они по умолчанию совместимы с электростатическими разрядами и испытаны институтом им. Фраунгофера на предмет их пригодности для чистых помещений.

Для изготовления кремниевых пластин большое значение играет чистая комната

Институт им. Фраунгофера относится к всемирным ведущим институтам в области стерильного производства и контроля загрязнений. Более 18 лет мы тесно сотрудничаем с компанией KUKA. Во-первых, в рамках сертификации чистого помещения Fraunhofer Tested Device® и CSM®, а во-вторых при проектировании роботов для чистых помещений с соблюдением технических характеристик.

Д-р Франк Бюргер, Институт им. Фраунгофера

Подберите пригодную для чистых помещений кинематику под свои задачи: 

Мобильные коботы для чистых помещений: надежное манипулирование чувствительными деталями.

Сегодня промышленное изготовление требует объединенную в интеллектуальную сеть, модульную, универсальную и вместе с тем также мобильную концепцию производства и логистики.
Мобильные коботы для чистых помещений (KMR iiwa) гарантируют безопасную транспортировку и надежное манипулирование чувствительными компонентами (кремниевые пластины, матрицы, носители) от одного процесса к следующему. Они могут осуществлять автономную навигацию и перемещаться без защитного забора в любых направлениях.

Мобильный кобот KUKA делает возможным бережное и надежное манипулирование носителями с очень высокой точностью и чувствительностью.

Тестовая лаборатория KUKA TechCenter: начиная с тестирования с учетом индивидуальных требований заказчика, и заканчивая интегрируемыми комплексными решениями в области мобильности

Для наших клиентов мы проводим в международных лабораториях комплексные тестирования с учетом индивидуальных требований клиентов для изготовления полупроводников или электронной промышленности. В зависимости от проекта, приложения и необходимости мы предлагаем технико-экономическое обоснование, тестирование интерфейсов и круглосуточные тестовые запуски вплоть до достижения готового решения.

Ищите партнера по автоматизации?

Воспользуйтесь нашей всемирной сетью партнеров в области электроники 

Найти партнера в непосредственной близости от Вас
Настройки файлов «cookie» ОК и открыть KUKA

Этот сайт использует файлы «cookie» (подробнее) для улучшения качества предоставления услуг также в онлайн-режиме. Если Вы продолжаете использовать наш сайт, это означает Ваше согласие на использование только технически необходимых файлов «cookie». Нажимая на «ОК и открыть KUKA», вы также соглашаетесь на использование маркетинговых файлов «cookie». Нажав «Настройки файлов «cookie»», Вы можете выбрать, какие файлы «cookie» будут использоваться.

Настройки файлов «cookie»