KUKA utvecklar mobila robotar för halvledarproduktion

Att tillverka halvledare är en komplex verksamhet. Det fanns länge ingen halvledarproduktion där komponenterna transporteras per automatik från det ena bearbetningssteget till det andra. Med KUKA Wafer Handling Solution har detta ändrats.

den 13 augusti 2019

Halvledare finns överallt

Små, smarta datorchips, så kallade halvledare, finns numera överallt i vår vardag: i smarttelefoner, surfplattor och även i bilar. Särskilt för fordonsindustrins megatrender är denna komponent av central betydelse. Vid halvledartillverkning bearbetas det kemiska grundämnet kisel i form av kiselplattor. Kiselplattorna förvaras i speciella plastkassetter under renrumsförhållanden och bearbetas i en lång rad olika processteg. Eftersom efterfrågan på halvledare kommer att fortsätta stiga önskar producenterna automatisera sina tillverkningsprocesser ytterligare.

Automatiserad hantering av kiselplattor: KUKA Wafer Handling Solution

Med KUKA Wafer Handling Solution introducerade KUKA världens första lösning från en och samma leverantör för automatisk transport och hantering av halvledarkassetter. Applikationen består av ett standardiserat AGV-fordon (Automated Guided Vehicle) kombinerat med vår lättviktsrobot LBR iiwa som gång på gång levererat ute på fältet. Ett sofistikerat, specialutvecklat gripsystem är pricken över i:et i denna lösning. Även programvaran har utvecklats av KUKA.

Vår mobila robotlösning för halvledarindustrin förflyttar sig per automatik.

Robotlösning för halvledarindustrin i renrumsmiljö

De nödvändiga förflyttningarna utförs av vår mobila plattform KMR 200 CR. Plattformen är utrustad med Mecanum-hjul som möjliggör omniriktad körning i alla riktningar. Sensorer runt plattformen läser av omgivningen i realtid och ser till att kollisioner undviks. Monterad på plattformen sitter LBR iiwa – vår robot anpassad för samarbete mellan människa och robot. Denna avkännande robot hanterar de känsliga kassetterna innehållande kiselplattor på ett säkert sätt utan skakningar eller vibrationer. Den tredje komponenten i applikationen är det skräddarsydda gripdonet. Gripsystemet är patenterat av KUKA.

 

KUKA:s renrumsapplikationer automatiserar hanteringen av kiselplattor på ett säkert sätt.

Programvara styr mobil robotflotta

I den här renrumsapplikationen för hantering av kiselplattor kommer både hårdvara och programvara från KUKA. Wafer Handling-programvarulösningen är enkel att integrera i halvledarproducenternas Manufacturing Execution System. I programvaran finns ett inbyggt hanteringssystem för fordonsflottan som styr transportjobben och optimerar den automatiserade halvledarproduktionen. Alla lösningar är certifierade och levereras från en och samma leverantör. Detta resulterar i extremt korta idrifttagningstider, vilket gör systemet till det mest flexibla hanteringssystemet på marknaden.

Cookie-inställningar OK och upptäck KUKA

Denna webbplats använder cookies (mer om detta) för att kunna ge dig bästa möjliga service även online. Om du fortsätter använda vår webbplats lagrar vi endast tekniskt nödvändiga cookies. Genom att klicka på ”OK och upptäck KUKA” samtycker du dessutom till användningen av marknadsföringscookies. Klicka på ”Cookie-inställningar” för att välja vilka cookies vi använder.

Cookie-inställningar