KUKA develops mobile robot for semiconductor production

The production of semiconductors is complex. Until now there was no mobile, automated semiconductor production system that enabled component transfer from one step to the next. That has now changed with the KUKA wafer handling solution.

2019年8月13日

半导体随处可见

微型智能计算机芯片,即所谓的半导体,如今在日常生活中随处可见:不管是在智能手机、平板电脑还是汽车中。在汽车行业的大趋势下,该组件至关重要。生产半导体时是以晶片形式加工化学元素硅。在生产过程中,将晶片在净室条件下存放在专用的塑料盒内,并分多道工序进行处理。随着对半导体需求的不断增长,制造商也希望进一步实现生产过程的自动化。

自动化搬运晶片:KUKA 晶片搬运解决方案

KUKA 研发的 KUKA 晶片搬运解决方案是世界上首个可用于自动运输和搬运半导体盒的一站式解决方案。该应用由一台标准化的自动导引运输车 (AGV) 和经过实践检验的 LBR iiwa 轻型机器人组成。为此开发了一套精密的抓手系统。软件也由 KUKA 提供。

用于半导体工业的移动机器人解决方案可自主移动。

适用于半导体工业净室环境下的机器人解决方案

KMR 200 CR 移动平台确保移动性。该平台的麦克纳姆轮可朝各个方向全向行驶。平台上的传感器实时监测周围环境,以免发生碰撞。具有人机协作能力的 LBR iiwa 安装在平台上。机器人的高灵敏度有助于安全无振动地搬运敏感的晶片盒。该应用的第三个部件是量身定制的抓手。抓手系统为 KUKA 专利。

 

KUKA 净室应用可靠实现晶片搬运自动化。

软件控制移动机器人车队

在用于晶片搬运的净室应用中,硬件和软件均来自 KUKA。晶片搬运软件解决方案可无缝整合到半导体制造商的制造执行系统中。集成在软件中的车队管理器负责管控运输任务,以此确保理想的半导体自动化生产。所有解决方案均由 KUKA 提供并经过认证。由此可以大幅缩短调试时间,从而使该系统成为市场上最为灵活的搬运系统

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