適用於半導體生產的無塵室機器人解決方案

KUKA 技術和無塵室機器人能符合半導體製造對純度、潔淨度和功能性的高度要求。即使作業週期極短,它們也能結合極高的移動性和最高的精度。

專為半導體工業嚴格的要求進行設計:KUKA 非常重視無塵室和安全性。

KUKA 專為無塵室應用提供微粒和排放極低的機器人、及移動機器人和生產平台,以及高度敏感微電子裝置的安全操作,本公司自家的製程也是在如此嚴格的無塵室條件下進行。

KUKA 與系統合作夥伴合作,共同為半導體產業提供能因應未來挑戰的 工業 4.0 解決方案,透過完美協調的硬體和軟體滿足可聯網性和生產靈活性的要求。

在高度乾淨的生產環境中的人和機器人:未來高度自動化的半導體工廠。

比手術室還乾淨:Infineon GmbH 在最高達類別 1 的無塵室環境中大量生產半導體晶片。

一站式半導體製造機器人技術

  • 無塵室機器人

    具備高度無塵室等級的無塵室機器人和移動機器人,例如:採內部封裝的導軌和電纜以及內建式驅動技術

     

  • 行動應用軟體

    符合 Semi SECS 的智慧型軟體套件。

  • 工程設計與客戶服務

    本公司會根據您個人需求和特定應用需求提供解決方案,以滿足您的要求。
  • 具備國際標準的全球 KUKA 技術中心

    KUKA 在台灣和中國各地設有為客戶提供測試實驗室的技術中心。

徹底的無塵室設定:適用於半導體產業的 KUKA 機器人和行動合作機器人。

精準和快速的機器人,具備高度無塵室等級:另經德國夫朗和斐研究所的認證,安全性更高。

本公司在開發機器人期間即參考了許多重要的無塵室條件。因此,本公司的標準機器人即已具備高度 ISO 等級,適用於許多無塵室應用。

 其各軸具備易於清潔的特殊表面和特殊底漆、密封件以及烤漆。其基本上具備 ESD 相容性,且其無塵室適用性已經德國夫朗和斐工業工程與自動化研究所(Fraunhofer IPA)認證合格。

無塵室是生產矽晶片板的重要要素

夫朗和斐工業工程與自動化研究所是無塵環境生產和污染控制領域的國際領先機構。我們已與 KUKA 密切合作超過 18 年,一方面在 Tested Device® 和 CSM® 的夫朗和斐無塵室認證領域,另一方面則是在機器人的無塵室技術性設計。

Frank Bürger 博士,夫朗和斐工業工程與自動化研究所

針對您的任務搜尋具無塵室條件的運動學: 

適用於無塵室的移動機器人:可安全處理敏感的零組件。

未來的工業生產需要智慧聯網、模組化、多元化以及移動式的生產和物流方案。
移動無塵室機器人(KMR iiwa)保證從一個程序到另一個程序之間的安全運輸和安全處理敏感的零組件(晶片、光罩、載子)。它們會往所有方向自主導航,無須防護欄。

KUKA 行動合作機器人以超高精準度和敏感度以及溫和和安全的方式處理載子。

KUKA 技術中心測試實驗室:從客製化測試到移動性領域的可整合式完整解決方案

本公司在全球設有測試實驗室,為客戶提供全方位且客製化的半導體生產或電子產業的測試。視專案、應用和需求而定,本公司提供 可行性研究、介面測試和 24 小時試運轉以及最終解決方案。

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