Cobots in cleanrooms

Whitepaper

Tight cycle times, top quality, repeatability, ultra-low particle generation and significant cost reductions are the requirements for intelligent automation in cleanrooms. To meet these requirements, innovative products and individual concepts are needed. Sensitive and mobile cobots can revolutionize these demanding production environments. They enable humans and machines to interact and pave the way for a new kind of cleanroom automation.

Read more about the future of semiconductor fabrication.

Download PDF

KUKA solutions for electronics

Wafer fabrication in cleanrooms with cobots

For the handling of wafers, Infineon Technologies relies on 17 cleanroom robots of type LBR iiwa CR.

Semiconductor manufacturing

Certified cleanroom robotics for safe handling of wavers and other components in the semiconductor industry.

KUKA dezvoltă roboți mobili pentru producția de semiconductori

KUKA Wafer Handling Solution este prima aplicație mobilă pentru camere cu atmosferă controlată din lume pentru manipularea plăcilor dintr-o singură sursă.

Industria electronică

Roboți, coboți, platforme mobile: Produse certificate cu clasă superioară de camere curate și înaltă clasă de camere curate și protecție împotriva descărcării electrostatice pentru fabricarea componen

KR SCARA

Puternic, rapid, ultracompact, economic. Roboţii KR SCARA sunt perfecţi pentru montarea pieselor mici, manipularea materialelor sau verificare.

KR 4 AGILUS

Performanță ridicată în orice poziție de montaj și cu un necesar redus de spațiu – KR 4 AGILUS convinge prin designul său compact, raza de acțiune mare și precizia înaltă.

KR 3 AGILUS

Mic, agil și precis: Aflați modul în care KUKA stabilește noi standarde cu KR 3 AGILUS din clasa de 3 kilograme.