สถาบัน Fraunhofer ยังได้ยืนยันคุณสมบัติการนำไฟฟ้าสถิตและพฤติกรรมการปล่อยก๊าซของหุ่นยนต์เคลื่อนที่อัตโนมัติในกรอบของการรับรองอีกด้วย ทําให้เหมาะสําหรับห้องคลีนรูม ที่นี่ หุ่นยนต์จะเชื่อมต่อ สถานีจํานวนเท่าใดก็ได้โดยไม่มีข้อจํากัดของโซลูชั่นการขนส่งวัสดุทั่วไป นอกจากนี้ยังสามารถสลับไปมาระหว่างผลิตภัณฑ์ต่างๆ ได้อย่างรวดเร็ว ทําให้สามารถ ผลิตชุดเล็กๆ ในราคาที่ แข่งขันได้
หุ่นยนต์ที่ทำงานรอบด้านโดยอัตโนมัติ: หุ่นยนต์ห้องคลีนรูม KMR iisy CR กําหนดมาตรฐาน
ระบบอัตโนมัติที่มีประสิทธิภาพสําหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์: KUKA ใช้ KMR iisy CR KUKA เพื่อนําเสนอหุ่นยนต์เคลื่อนที่อัตโนมัติอเนกประสงค์ (AMR) เป็นรุ่นสำหรับการใช้งานแบบอัจฉริยะในห้องคลีนรูมในคลาสน้ำหนักบรรทุก 11 และ 15 กิโลกรัม รุ่นสําหรับห้องคลีนรูมผ่านการรับรองจากสถาบัน Fraunhofer และเป็นไปตามข้อกําหนดของ ISO คลีนรูมระดับ 3 ตามมาตรฐาน DIN EN ISO 14644-1
17 มิถุนายน 2568
หุ่นยนต์เคลื่อนที่อัตโนมัติสําหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และการใช้งานในห้องคลีนรูมที่มีความไวสูง
KMR iisy CR ประกอบด้วยแพลตฟอร์มเคลื่อนที่และ หุ่นยนต์ LBR iisy CR หกแกน KMR iisy CR เป็นอุปกรณ์ควบคุมหุ่นยนต์เคลื่อนที่ที่เหมาะสมที่สุดสําหรับการทํางานในห้องคลีนรูม เนื่องจากมีคุณสมบัติอนุภาคต่ำและการปล่อยมลพิษต่ำ ตลอดจน การรับรอง ESD หลังจากติดตั้งได้อย่างรวดเร็วและง่ายดายแล้ว ยังสามารถใช้งานหยิบและวาง การขนส่งวัสดุ หรือการจัดวางบนพาเลทในคลังสินค้าได้อย่างมีประสิทธิภาพและคุ้มต้นทุน ไม่ว่าจะเป็นในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หรือในแขนงอื่นๆ ของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ก็ตาม
การทำงานร่วมกันที่มุ่งเน้นอนาคตของฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์
ในขณะที่แพลตฟอร์มนี้ใช้โซลูชั่นซอฟต์แวร์ที่ใช้ AI ที่ได้รับการพิสูจน์แล้วของ KUKA AMR Fleet ในฐานะตัวจัดการกลุ่มหุ่นยนต์ แขนของหุ่นยนต์จะทํางานบน iiQKA.OS2 ระบบปฏิบัติการที่ปรับขนาดได้และปรับเปลี่ยนได้อย่างยืดหยุ่นพร้อม Virtual Robot Controller (VRC) เต็มรูปแบบมี ความสามารถ AI ยืดหยุ่นทาง ไซเบอร์และเหมาะอย่างยิ่งสําหรับการผลิตแบบดิจิทัลในอนาคตเนื่องจากสอดคล้องกับมาตรฐาน ISO 10218 ใหม่ ดังนั้น KUKA ไม่เพียงแค่กำกับดูแลฮาร์ดแวร์เท่านั้น แต่ยังรวมถึงซอฟต์แวร์ด้วย ซึ่งช่วยให้สามารถประสานการทำงานกันได้โดยตรง ระบบอัจฉริยะช่วยรับมือกับภารกิจที่มีความท้าทายสูงในการผลิตด้วย
เพราะว่ามีหุ่นยนต์เคลื่อนที่ จึงได้ ผลกระทบด้านต้นทุนต่อผลตอบแทนที่เหมาะสมสำหรับการผลิตที่มีความละเอียดอ่อน
ซีลที่พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษบริเวณแกนทั้ง 6 ของแขนหุ่นยนต์จะรับประกันได้ถึงการปล่อยอนุภาคที่ต่ำ ซึ่งจำเป็นต้องปฏิบัติตามมาตรฐานคลีนรูมระดับ 3 นอกจากนี้หุ่นยนต์ยังประกอบด้วยวัสดุที่เหมาะสำหรับคลีนรูมอีกด้วย ทั้งนี้เพื่อลดการปล่อยก๊าซแอมโมเนียหรือก๊าซไฮโดรคาร์บอนให้เหลือน้อยที่สุด รับประกันการนําไฟฟ้า ของหุ่นยนต์ทั้งหมดตามมาตรฐาน DIN EN 61340 เพื่อให้ส่วนประกอบที่ละเอียดอ่อน เช่น เวเฟอร์ ไม่ได้รับความเสียหายจากการคายประจุไฟฟ้าสถิต หลังจากเสร็จสิ้น จะมีการทำความสะอาดหุ่นยนต์อีกครั้งภายใต้สภาวะของห้องคลีนรูมก่อนที่จะส่งให้ลูกค้า บรรจุภัณฑ์พิเศษสำหรับหุ่นยนต์ห้องคลีนรูมช่วยให้มั่นใจได้ว่าไม่มีการปนเปื้อนของอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นระหว่างการขนส่ง พื้นผิว ของหุ่นยนต์ ทนทานต่อ สารเคมีทำความสะอาดทั่วไป
การกําหนดมาตรฐานใหม่สําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ด้วยตัวเลือกการดัดแปลงที่ยืดหยุ่นKMR iisy CR จึงคุ้มค่าทั้งในการผลิตจำนวนชิ้นงานมากและน้อย เช่น ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ การประยุกต์ใช้งานบางอย่างที่ใช้หุ่นยนต์ในคลีนรูมเคลื่อนที่ ได้แก่ การจัดการอย่างปลอดภัยกับ FOUP(Front Opening Unified Pods), SMIF POD หรือคาสเซ็ตแบบเปิด หุ่นยนต์เคลื่อนที่มีให้พร้อมกับอินเตอร์เฟซ E82 และ E84 ที่ได้มาตรฐานสําหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งช่วยให้สามารถผสานรวมเข้ากับระบบควบคุมวัสดุที่มีอยู่ได้ไม่ซับซ้อน
