自主性全能好手:無塵室機器人 KMR iisy CR 樹立技術標竿
半導體和電子產業落實高效自動化:KUKA 推出的 KMR iisy CR 是一款多功能自主移動機器人 (AMR),可在負載級別為 11 和 15 公斤的無塵室中實現智慧應用。無塵室模型已通過夫朗和斐研究所認證,並符合 DIN EN ISO 14644-1 規定的 ISO 無塵室 3 級要求。
2025年6月17日
專為半導體產業和高敏感無塵室應用設計的自主移動機器人
KMR iisy CR 由一個移動平臺和一架六軸機器人 LBR iisy CR 組成,具有低微粒和低排於等性,並通過 ESD 認證,是無塵室作業最理想的活動式機械手。在快速簡單完成安裝後,這套系統可以高效地在倉庫中執行 拾放應用、 物料運輸或 堆垛任務,同時達到最佳經濟效益——不僅在半導體製造中,在電子產業的其他各個領域中也是如此。
作為認證的一部分,夫朗和斐研究所也確認了自主移動機器人的靜電傳導性和釋氣行為,因此證明它適合在無塵室中使用。在這裡,機器人可以連接起任意數量的工作站,不受傳統物料運輸解決方案的限制。此外,它可以在不同產品之間快速切換,因此可以以具有競爭力的價格進行小批量生產。
未來導向的軟硬體合作
該移動平臺採用人工智慧輔的成熟軟體解決方案 KUKA.AMR Fleet 作為車隊管理器,而機器人連接臂則在 iiQKA.OS2 上運行。該作業系統可以擴展功能、適應性強且內建完整的虛擬機器人控制器 (Virtual Robot Controller VRC),具有人工智慧功能,網路恢復力高,並且由於符合新的 ISO 10218 標準,非常適合未來的數位製造。因此,不僅是硬體,內部的軟體也來自 KUKA,完美實現直接協調。無論處理製造過程中的任務如何艱鉅,智慧系統都能提供協助克服困難。
歸功於移動機器人:無塵室協作機器人為精密敏感製造實現最佳成本效益
LBR iisy CR 的所有六個軸上均採用專門開發的密封件,保證符合空氣潔淨度 3 級規定的低微粒排放量。此外,機器人採用與無塵室相容的材料製成,有助於將氨或碳氫化合物氣體析出量降至最低。整架機器人的導電性符合 DIN EN 61340 標準,因此例如晶圓等敏感組件不會因靜電放電而損壞。機器人製作完成後,在送交給客戶之前會在無塵室條件下再次受到清潔。無塵室機器的特殊包裝可確保運送過程中不會發生顆粒污染。機器人的表面不受一般清潔化學品影響。
半導體製造的新標竿
KMR iisy CR 能夠靈活改裝, 無論是在大批量還是小批量生產都能帶來高效益,例如半導體和電子元件的製造過程。可以採用移動式無塵室機器人的應用包括安全處理 FOUP(Front Opening Unified Pods)、晶舟傳送盒或開放式晶圓傳送盒。移動機器人還可以選配專為半導體產業標準化的 E82 和 E84 介面,並輕鬆整合到現有的材料控制系統。