Dans le cadre de la certification, l’Institut Fraunhofer a également confirmé la capacité de décharge électrostatique et le comportement lors de l’émission de gaz du robot mobile autonome. Il est donc prouvé qu’il convient aux salles blanches. Ici, il relie autant de stations que nécessaire sans les restrictions des solutions de transport de matériel traditionnelles. De plus, il peut passer rapidement d’un produit à un autre, ce qui permet de produire de petits lots à des prix compétitifs.
Un multitalent autonome : le robot pour salles blanches KMR iisy CR pose de nouveaux jalons
Une automatisation efficace pour l’industrie des semi-conducteurs et l’industrie électronique : Avec le KMR iisy CR, KUKA propose un robot mobile autonome (AMR) polyvalent en tant que variante pour une utilisation intelligente en salle blanche dans les classes de charge de 11 et 15 kilogrammes. Les modèles destinés au Cleanroom ont été certifiés par l’Institut Fraunhofer et répondent aux exigences de la classe 3 ISO pour les salles blanches, conformément à la norme DIN EN ISO 14644-1.
17 juin 2025
Robot mobile autonome pour l’industrie des semi-conducteurs et les applications ultra-sensibles en salle blanche
Composé d’une plate-forme mobile et du robot à six axes LBR iisy CR, le KMR iisy CR est un manipulateur mobile optimal pour les travaux en Cleanroom grâce à sa faible émission de particules et à sa certification ESD. Après une installation rapide et simple, il met en œuvre de manière efficace et économique les applications Pick-and-Place, le transport de matériel ou les tâches de palettisation dans l’entrepôt - dans la production de semi-conducteurs, mais aussi dans divers autres domaines de l’industrie électronique.
Une interaction d’avenir entre matériel et logiciel
Alors que la plate-forme s’appuie sur la solution logicielle éprouvée basée sur l’IA KUKA.AMR Fleet en tant que gestionnaire de flotte, le bras du robot fonctionne avec iiQKA.OS2. Le système d’exploitation évolutif et adaptable avec contrôleur de robot virtuel (Virtual Robot Controller/VRC) complet est compatible avec l’IA, cyber-résilient et, grâce à sa conformité avec la nouvelle norme ISO 10218, il est idéalement équipé pour la fabrication numérique du futur. Ainsi, non seulement le matériel, mais aussi le logiciel sous le capot proviennent de la maison KUKA, ce qui permet une coordination directe entre eux. Les systèmes intelligents aident à maîtriser les tâches les plus exigeantes de la production.
Grâce au robot mobile : rapport coût-bénéfices optimal pour les productions sensibles
Des joints spécialement conçus sur les six axes du bras du robot garantissent les faibles émissions de particules prescrites pour respecter la classe ISO 3 de salle blanche. En outre, le robot est composé de matériaux adaptés aux salles blanches, afin de réduire au maximum les émissions d’ammoniaque ou de gaz hydrocarbure. La capacité de décharge de l’ensemble du robot est garantie selon la norme DIN EN 61340, de sorte que les composants sensibles - par exemple les plaquettes - ne soient pas endommagés par des décharges électrostatiques. Une fois le travail terminé, le robot est à nouveau nettoyé dans des conditions de salle blanche avant de prendre le chemin du client. Un emballage spécial pour les machines de salle blanche permet d’éviter toute contamination par des particules pendant le transport. Les surfaces du robot sont résistantes aux produits chimiques de nettoyage courants.
De nouveaux standards pour la production de semi-conducteurs
Grâce à des possibilités de transformation flexibles, l’utilisation du KMR iisy CR est rentable aussi bien pour les grandes que pour les petites quantités, par exemple pour la fabrication de semi-conducteurs et de composants électroniques. Certaines des applications pour lesquelles le robot mobile pour salles blanches est utilisé sont la manipulation sécurisée de FOUPs (Front Opening Unified Pods), de SMIF PODs ou de cassettes ouvertes. En option, le robot mobile est disponible avec les interfaces standardisées E82 et E84 pour l’industrie des semi-conducteurs. Celles-ci permettent une intégration simple dans un Material Control System existant.
