In het kader van de certificering heeft het Fraunhofer-instituut ook de elektrostatische ontladingscapaciteit en het ontgassingsgedrag van de autonome mobiele robot bevestigd. Hierdoor is de robot dus aantoonbaar geschikt voor cleanrooms. Hier verbindt de robot een willekeurig aantal stations, en dat zonder de beperkingen van conventionele oplossingen voor het materiaaltransport. Bovendien kan de robot snel schakelen tussen verschillende producten, waardoor kleine partijen tegen concurrerende prijzen mogelijk zijn.
Autonome alleskunner: cleanroom robot KMR iisy CR legt de lat hoog
Effectief automatiseren in de halfgeleiderindustrie en de elektronica-industrie: met de KMR iisy CR voorziet KUKA in een veelzijdige en autonome mobiele robot (AMR) als intelligente variant voor cleanrooms met draaglastklassen van 11 en 15 kilogram. De modellen voor cleanrooms zijn gecertificeerd door het Fraunhofer-instituut en voldoen aan de eisen van ISO cleanroom klasse 3 conform DIN EN ISO 14644-1.
17 juni 2025
Autonome mobiele robot voor de halfgeleiderindustrie en voor uiterst gevoelige cleanroomtoepassingen
Bestaande uit een mobiel platform en de 6-assige-robot LBR iisy CR is de KMR iisy CR dankzij de deeltjes- en emissiearme eigenschappen en de ESD-certificering een ideale mobiele manipulator voor werkzaamheden in cleanrooms. Na een snelle en eenvoudige installatie neemt de robot pick-and-place-toepassingen en materiaaltransport- of palletiseertaken in het magazijn efficiënt en voordelig over – en dat zowel in de halfgeleiderproductie als in andere bereiken van de elektronica-industrie.
Toekomstgericht samenspel van hard- en software
Terwijl het platform gebruik maakt van de beproefde, AI-gebaseerde softwareoplossing KUKA.AMR Fleet als fleetmanager, draait de arm van de robot op iiQKA.OS2. Het schaalbare, flexibel aanpasbare besturingssysteem met complete Virtual Robot Controller (VRC) is AI-compatibel, cyberbestendig en dankzij de conformiteit met de nieuwe ISO 10218-norm bij uitstek geschikt voor de digitale productie van de toekomst. Zo tekent KUKA niet alleen verantwoordelijk voor de hardware, maar ook voor de software. Een directe afstemming op elkaar is hierdoor probleemloos mogelijk. Dankzij de intelligente systemen kunnen dus ook veeleisende taken in de productie worden uitgevoerd.
Dankzij mobiele robot: optimaal kosten-bateneffect voor gevoelige producties
Speciaal ontwikkelde afdichtingen aan alle zes assen van de robotarm garanderen een lage uitstoot van deeltjes, een absolute vereiste om te voldoen aan ISO cleanroom klasse 3. Bovendien bestaat de robot uit voor cleanrooms geschikte materialen om de ontgassing c.q. de uitwaseming van ammoniak of koolwaterstofgassen tot een minimum te beperken. De ontladingscapaciteit van de volledige robot is conform DIN EN 61340 gegarandeerd, zodat gevoelige onderdelen – bijv. wafers – niet door elektrostatische ontlading beschadigd worden. Na de eindmontage wordt de robot nogmaals onder cleanroomomstandigheden gereinigd, voordat deze aan de klant wordt geleverd. Door middel van een speciale verpakking voor cleanroommachines wordt gegarandeerd dat tijdens het transport geen vervuiling met deeltjes mogelijk is. De oppervlakken van de robot zijn bestand tegen gangbare reinigingschemicaliën.
Nieuwe maatstaven voor de productie van halfgeleiders
Dankzij de flexibele uitrustingsmogelijkheden loont het gebruik van de KMR iisy CR zowel bij grote als kleine aantallen, bijvoorbeeld bij de productie van halfgeleiders en elektronische componenten. Enkele van de toepassingen waarbij de mobiele cleanroom robot wordt gebruikt, zijn het veilige gebruik van FOUP's (Front Opening Unified Pods), SMIF POD's of open cassettes. Optioneel is de mobiele robot leverbaar met de voor de halfgeleiderindustrie gestandaardiseerde interfaces E82 en E84, die een eenvoudige integratie in een bestaand Material Control System mogelijk maken.
