Kies uw locatie:

Land

Selecteer een taal:

Robotoplossingen voor cleanrooms in de halfgeleiderproductie

De technologieën en robots van KUKA voor cleanrooms voldoen aan de strenge eisen inzake hygiëne, zuiverheid en functionaliteit in de halfgeleiderproductie. Maximale mobiliteit wordt optimaal gecombineerd met een hoge mate van precisie, ook bij korte cyclustijden.

Ontwikkeld voor de strenge eisen in de halfgeleiderindustrie: cleanroom en veiligheid hebben bij KUKA absolute prioriteit.

Speciaal voor cleanrooms biedt KUKA deeltjes- en emissiearme robots, cobots en platformen voor de productie en de veilige handling van extreem gevoelige micro-elektronica. De robots worden eveneens onder deze strenge cleanroomvoorwaarden geproduceerd.

In samenwerking met systeempartners levert KUKA toekomstgerichte Industrie 4.0-oplossingen voor de halfgeleiderindustrie, en komt dankzij perfect op elkaar afgestemde hardware en software tegemoet aan de eisen inzake netwerkmogelijkheden en een flexibele productie.

Mens en robot in een hoogzuivere productieomgeving: geautomatiseerde halfgeleiderproductie van de toekomst.

Schoner dan een operatiekamer: massaproductie van halfgeleiderchips in een cleanroom productieomgeving tot categorie 1 bij Infineon GmbH.

Robottechniek voor de halfgeleiderproductie

  • Robotsystemen voor cleanrooms

    Robots voor cleanrooms en (mobiele) cobots met een hoge cleanroomclassificatie, bijv. dankzij inwendige en ingekapselde geleidingen en leidingen en geïntegreerde aandrijftechniek

     

  • Software voor mobiele applicaties

    Intelligente, semi SECS-conforme softwarepakketten.

  • Engineering & customer service

    Wij bieden individuele en applicatiespecifieke oplossingen die aan uw eisen tegemoetkomen.

  • Wereldwijde KUKA TechCenters met globale standaards

    Op verschillende locaties, onder andere in Taiwan en China, kunnen klanten gebruik maken van de testlaboratoria van de KUKA TechCenters.

Cleanroom - van top tot teen: robots voor halfgeleiders en mobiele cobots van KUKA.

Nauwkeurige en snelle robots met een hoge cleanroomklasse: meer veiligheid door extra certificering door het Fraunhofer Instituut.

Reeds bij de ontwikkeling van onze robots wordt daarom rekening gehouden met cleanroomgerelateerde factoren. Onze standaard robots zijn dankzij de hoge ISO-klasse geschikt voor tal van cleanroomapplicaties.

 Deze robots zijn voorzien van eenvoudig te reinigen speciale oppervlakken, speciale primers, afdichtingen en verfadwerkingen aan iedere as. De robots zijn standaard ESD-compliant en zijn door het Fraunhofer IPA op de geschiktheid voor cleanrooms getest.

Voor de productie van siliciumwafers zijn cleanroomomstandigheden van essentieel belang

Het Fraunhofer Instituut voor productietechniek en automatisering, kort IPA, behoort tot de wereldwijd toonaangevende instituten op het gebied van cleanroomproductie en contaminatiecontrole. Wij werken al meer dan 18 jaar nauw samen met KUKA. Enerzijds in het kader van de cleanroomcertificering Fraunhofer Tested Device® en CSM®, anderzijds bij het cleanroomgerichte design van robots.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Vind de voor cleanrooms geschikte robots voor uw taak: 

LBR iiwa CR (draaglast 7-14 kg, cobot)

De gevoelige LBR iiwa is dankzij de positie- en tolerantieregeling bijzonder geschikt voor de handing van sensibele substraten.

KUKA LBR iiwa in cleanroomomgeving
KUKA LBR iiwa in cleanroomomgeving

KMR iiwa CR (draaglast robot 7-14 kg, draaglast platform 170 kg, mobiele cobot)

De KMR iiwa is geschikt voor het uitrusten van procesmachines zonder bouwkundige maatregelen.

  • Autonome navigatie
  • Omnidirectioneel
  • Geïntegreerde SEMI-standaards
  • Fleetmanagement
  • Vrij schaalbaar en modulair systeem
  • Certificaat (PDF)
De mobiele en uitermate flexibele KMR iiwa biedt ideale voorwaarden voor de eisen die door Industrie 4.0 worden gesteld.
De mobiele en uitermate flexibele KMR iiwa biedt ideale voorwaarden voor de eisen die door Industrie 4.0 worden gesteld.

KR AGILUS CR (draaglast 6-10 kg)

De extreem snelle en nauwkeurige KR AGILUS in de cleanroomuitvoering is dé specialist voor tal van toepassingen, bijv. reticle/wafer testing.

KR CYBERTECH CR (draaglast 20 kg)

De KR CYBERTECH is dankzij het rustige en filigrane rijgedrag bij uitstek geschikt voor de handling van apparatuur voor semiconductors

  • Reikwijdte: 1810 mm
  • ISO-klasse: 5
  • Slank design - ruimtebesparend celconcept
  • Robotbesturing KR C5
  • Certificaat (PDF)

Mobiele cobots voor cleanrooms: veilige handling van gevoelige onderdelen.

Voor de industriële productie van morgen zijn intelligent gekoppelde, modulaire, veelzijdige én mobiele productie- en logistiekconcepten onmisbaar.
Mobiele cleanroomcobots (KMR iiwa) garanderen een veilig transport en een veilige handling van gevoelige onderdelen (wafers, maskers, carriers) van het ene proces naar het andere. De cobots navigeren onafhankelijk en zonder beschermend hek in alle richtingen.

Verhoogde productiviteit voor halfgeleiderfabricage

De mobiele cobot van KUKA maakt een behoedzame en veilige handling van carriers met een extreem hoge nauwkeurigheid en gevoeligheid mogelijk.

KUKA TechCenter testlaboratoria: van tests op maat tot integreerbare complete oplossingen op het gebied van mobility

Voor onze klanten voeren wij in onze wereldwijde testlaboratoria omvangrijke en op maat gemaakte tests voor de halfgeleiderproductie of de elektronische industrie uit. Afhankelijk van project, applicatie en behoefte bieden wij haalbaarheidsonderzoeken, interfacetests, 24-uurs tests en zelfs complete oplossingen.

E-book: Next level automatisering met robots voor cleanrooms van KUKA

Lees meer over de toekomst van de halfgeleiderproductie in het gratis e-book 

Download PDF

Individuele oplossing gewenst?

Op basis van onze competentie en ervaring op het gebied van lassen geven we u graag advies. Samen met u vinden we de perfecte oplossing voor uw individuele lastoepassingen.
Neem gerust contact met ons op

Op zoek naar een automatiseringspartner?

Maak gebruik van ons wereldwijde netwerk met partners in de elektronische industrie 
Vind een partner bij u in de buurt

Misschien ben je ook geïnteresseerd in