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KUKA Seminconductor production cleanroom robots

Reinraumroboter-Lösungen für die Halbleiterfertigung

KUKA Technologien und Roboter für den Reinraum erfüllen die hohen Anforderungen an Reinheit, Sauberkeit und Funktionalität in der Halbleiterproduktion. Sie vereinen extreme Beweglichkeit und höchste Präzision selbst bei kurzen Taktzeiten.

Konzipiert für die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie: Reinraum und Sicherheit sind bei KUKA groß geschrieben.

Speziell für den Reinraum bietet KUKA partikel- und emissionsarme Roboter, Cobots und Plattformen für die Herstellung und das sichere Handling von hochsensibler Mikroelektronik. Auch unsere eigene Produktion erfolgt unter diesen strengen Reinraum-Bedingungen.

Zusammen mit Systempartnern liefert KUKA zukunftsfähige Industrie 4.0-Lösungen für die Halbleiterindustrie unter den Ansprüchen der Vernetzbarkeit und Fertigungsflexibilisierung durch perfekt abgestimmte Hardware und Software.

Mensch und Roboter in hochreiner Produktionsumgebung: Hochautomatisierte Halbleiterfabrik der Zukunft.

Sauberer als im Operationssaal:  Massenproduktion von Halbleiter-Chips in einer Reinraumumgebung bis zu Kategorie 1 bei Infineon GmbH.

Robotertechnik für die Halbleiter-Produktion aus einer Hand

  • Reinraum-Robotik

    Reinraumroboter und (mobile) Cobots mit hoher Reinraumklassifizierung z.B. dank innenliegenden, gekapselten Führungen und Leitungen sowie integrierter Antriebstechnik

     

  • Laptop

    Software für Mobile Applikationen

    Intelligente, Semi SECS-konforme Software-Pakete.

  • Engineering & Customer Service

    Wir bieten individuelle, applikationsspezifische Lösungen für Ihre Anforderungen.
  • KUKA top Quality

    Weltweite KUKA TechCenter mit globalen Standards

    An verschiedenen Standorten u.a. in Taiwan und China stehen KUKA TechCenter als Testlabore für Kunden bereit.

Von Kopf bis Fuß auf Reinraum eingestellt: Roboter für Halbleiter und mobile Cobots von KUKA.

Präzise und schnelle Roboter mit hoher Reinraumklasse: Mehr Sicherheit durch zusätzliche Zertifizierung vom Fraunhofer-Institut.

Bereits bei der Entwicklung unserer Roboter fließen reinraum-relevante Kriterien mit ein. So sind bereits unsere Standard-Roboter mit hoher ISO-Klasse für viele Reinraum-Applikationen geeignet.

 Sie haben leicht zu reinigende Spezialoberflächen sowie spezielle Grundierungen, Dichtungen, und Lackierungen in jeder Achse. Sie sind standardmäßig ESD-tauglich und vom Fraunhofer IPA auf ihre Reinraumtauglichkeit geprüft.

Reinraum ist für die Silicium-Wafer-Platten Herstellung essentiell

Das Fraunhofer IPA gehört zu den weltweit führenden Instituten im Bereich Reinstproduktion und Kontaminationskontrolle. Seit über 18 Jahren arbeiten wir eng mit KUKA zusammen. Zum einen im Rahmen der Reinraumzertifizierung Fraunhofer Tested Device® und CSM®, und zum anderen bei der reinheitstechnischen Gestaltung von Robotern.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Finden Sie die reinraumtaugliche Kinematik passend für Ihre Aufgabe: 

Mobile Cobots für Reinräume: Sicheres Handling von sensiblen Bauteilen.

Die industrielle Fertigung von morgen benötigt intelligent vernetzte, modulare, vielseitige und damit auch mobile Produktions- und Logistikkonzepte.
Mobile Reinraum-Cobots (KMR iiwa) garantieren den sicheren Transport und die sichere Handhabung der sensiblen Bauteile (Wafer, Masken, Carrier) von einem Prozess zum nächsten. Sie navigieren autonom und ohne Schutzzaun in alle Richtungen.

KUKA_Mobile_Robotics_Waferhandling_Semiconductor
KUKA mobile Cobot ermöglicht eine schonende und sichere Handhabung von Carriern mit extrem hoher Genauigkeit und Sensitivität.

KUKA TechCenter Testlabore: Vom maßgeschneiderten Test zur integrierbaren Komplettlösungen im Bereich Mobility

Für unsere Kunden führen wir in internationalen Testlaboren umfassende, maßgeschneiderte Tests für die Halbleiterfertigung oder Elektronikindustrie durch. Je nach Projekt, Applikation und Bedarf bieten wir Machbarkeitsstudien, Schnittstellen-Tests und 24-Stunden-Testläufe bis hin zur fertigen Lösung.

E-Book: Next-Level-Automatisierung mit KUKA Robotik für den Reinraum

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