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Soluzioni robotizzate per camera bianca

Soluzioni robotizzate per camera bianca per la produzione di semiconduttori

Le tecnologie e i robot KUKA per camera bianca soddisfano gli elevati requisiti di purezza, pulizia e funzionalità previsti per la produzione di semiconduttori. Combinano un’estrema mobilità a un’elevatissima precisione, anche con tempi di ciclo molto ridotti.

Concepiti per i rigidi requisiti imposti dall’industria dei semiconduttori: la pulizia e la sicurezza sono due capisaldi per KUKA.

KUKA offre dei robot, cobot e piattaforme che producono poche particelle ed emissioni, appositamente pensati per la produzione e la manipolazione in sicurezza dei componenti di microelettronica altamente sensibili. Anche per la loro produzione KUKA rispetta queste rigide condizioni di pulizia.

In collaborazione con dei system partner, KUKA realizza delle soluzioni avveniristiche per Industrie 4.0 pensate per l’industria dei semiconduttori, che soddisfano i requisiti di connessione in rete e flessibilizzazione della produzione, grazie a un perfetto coordinamento tra hardware e software.

Uomo e robot in un ambiente di produzione ad elevata sterilità: fabbrica di semiconduttori del futuro altamente automatizzata.

Più sterile di una sala operatoria: la produzione in massa di chip semiconduttori in una camera bianca fino a categoria 1 presso Infineon GmbH.

Tecnologia robotica per la produzione di semiconduttori chiavi in mano

  • Robot per camera bianca

    Robot per camera bianca e cobot (mobili) con elevata certificazione di sterilità, ad esempio grazie alle guide e ai cavi incapsulati e interni e agli elementi di azionamento integrati

     

  • Software per applicazioni mobili

    Pacchetti software intelligenti, conformi allo standard Semi SECS.

  • Engineering & Customer Service

    KUKA offre soluzioni personalizzate che rispondono alle specifiche esigenze delle vostre applicazioni.

  • KUKA TechCenter in tutto il mondo con standard globali

    In diverse sedi, tra cui Taiwan e Cina, sono a disposizione dei KUKA TechCenter come laboratori di test per i clienti.

Perfettamente adattati all’ambiente della camera bianca: robot per semiconduttori e cobot mobili di KUKA.

Robot precisi e rapidi con elevata classe di sterilità: maggiore sicurezza grazie a un’ulteriore certificazione rilasciata dell’Istituto Fraunhofer.

Già in fase di sviluppo dei robot, vengono considerati i criteri rilevanti per la camera bianca. Ad esempio, i nostri robot standard presentano già un’elevata classe ISO per molte applicazioni in camera bianca.

 Presentano superfici speciali facili da pulire e verniciature di fondo, guarnizioni e vernici speciali su ogni asse. Di default sono conformi allo standard ESD e la loro idoneità per le camere bianche è stata verificata da Fraunhofer IPA.

Una camera bianca è fondamentale per la produzione di wafer di silicio

Fraunhofer IPA è uno degli istituti di riferimento a livello mondiale nel campo della produzione in sterilità e del controllo delle contaminazioni. Da oltre 18 anni lavoriamo in stretta collaborazione con KUKA. Da una parte collaboriamo su Fraunhofer Tested Device® e CSM®, per la certificazione per le camere bianche, e dall’altra per creare dei robot che presentino caratteristiche tecniche di sterilità.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Trovate la cinematica per camera bianca adatta alle vostre esigenze: 

LBR iiwa CR (portata 7-14 kg, Cobot)

Il LBR iiwa sensibile è particolarmente adatto per la manipolazione di substrati sensibili grazie alla regolazione della posizione e dell’impedenza.

KUKA LBR iiwa in ambiente ad elevata sterilità
KUKA LBR iiwa in ambiente ad elevata sterilità

KMR iiwa CR (portata 7-14 kg per i robot, portata 170 kg della piattaforma, cobot mobili)

KMR iiwa è adatto per alimentare macchine di lavorazione senza interventi strutturali.

  • Navigazione autonoma
  • Omnidirezionale
  • Semi-standard integrati
  • Fleet management
  • Sistema modulare liberamente scalabile
  • Certificato (PDF)
KMR iiwa, indipendente dalla collocazione e altamente flessibile, rappresenta il presupposto ideale per i requisiti di Industrie 4.0.
KMR iiwa, indipendente dalla collocazione e altamente flessibile, rappresenta il presupposto ideale per i requisiti di Industrie 4.0.

KR AGILUS CR (portata 6-10 kg)

KR AGILUS, estremamente rapido e preciso in versione Cleanroom, è perfettamente adatto per numerose applicazioni, ad es. Reticle /Wafer Testing.

  • Area d’azione: 706,7 - 1101 mm
  • Classe ISO 2
  • Alimentazione integrata di energia
  • Controllo per minirobot specifico KR C5 micro
  •  Certificato (PDF)

KR CYBERTECH CR (portata 20 kg)

Grazie al suo movimento preciso e delicato, KR CYBERTECH è la soluzione migliore per la movimentazione di macchine per semiconduttori

  • Area d’azione: 1810 mm
  • Classe ISO: 5
  • Design snello – modello di cella a ingombro ridotto
  • Sistema di controllo robot KR C5
  • Certificato (PDF)

Cobot mobili per camera bianca: movimentazione in sicurezza di componenti sensibili.

La produzione industriale del futuro richiede modelli di produzione e di logistica intelligenti, collegati in rete, modulari, versatili e quindi anche mobili.
I cobot mobili per camera bianca (KMR iiwa) garantiscono il trasporto e la movimentazione in sicurezza di componenti sensibili (wafer, maschere, carrier) da un processo all’altro. Si spostano autonomamente, senza recinzione di protezione, in tutte le direzioni.

Maggiore produttività per la produzione di semiconduttori

Il cobot mobile di KUKA consente una movimentazione delicata e sicura di carrier con elevatissima precisione e sensibilità.

Laboratori di test KUKA TechCenter: dal test personalizzato fino a soluzioni complete integrabili nel campo della Mobility

In laboratori internazionali KUKA esegue per i suoi clienti dei test completi e personalizzati per la produzione di semiconduttori o per l’industria dell’elettronica. A seconda del progetto, dell’applicazione e delle esigenze, KUKA offre studi di fattibilità, test di interfaccia e prove di funzionamento su 24 ore, fino alla soluzione finita.

E-book: Automazione di nuova generazione con la robotica KUKA per camera bianca

Per maggiori informazioni sul futuro della produzione di semiconduttori è possibile leggere il nostro e-book gratuito 

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