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Mobile Reinraumlösung für die Halbleiterfertigung

Die industrielle Produktion von Wafern erfordert sensible, intelligente und saubere Automatisierungslösungen. Speziell für die sichere Handhabung von empfindlichen Bauteilen wie Wafern bieten wir den KMR iiwa CR an. Die Lösung besteht aus einer Kombination aus einem Reinraum-Cobot und einer mobilen Plattform. Der patentierte Greifer des Roboters ist speziell für die sichere Handhabung in Reinraumumgebungen konzipiert. Darüber hinaus ist eine kontinuierliche Produktion ohne Unterbrechung der Batterieladung gewährleistet. Die mobile Lösung basiert auf einer induktiven Ladetechnologie, sodass die Plattform während des Pick-and-Place-Prozesses über eine Ladestation fährt und dann während des Prozesses geladen wird – ohne jeglichen Zeitverlust.