V rámci certifikačního procesu Fraunhoferův institut rovněž potvrdil elektrostatickou vodivost a odplynovací schopnost autonomního mobilního robota. Díky tomu je prokazatelně vhodný pro čistý prostor. Spojuje libovolný počet stanic bez omezení běžných řešení přepravy materiálu. Může také rychle přepínat mezi různými produkty, což umožňuje vyrábět malé šarže za konkurenceschopné ceny.
Autonomní všestranný robot: KMR iisy CR pro čisté prostory nastavuje nové standardy
Představujeme všestranného autonomního mobilního robota (AMR), navrženého pro efektivní automatizaci v polovodičovém a elektronickém průmyslu. Varianta určená pro čisté prostory je dostupná s nosností 11 nebo 15 kg. Tyto modely byly certifikovány institutem Fraunhofer a splňují náročné požadavky čisté třídy ISO 3 podle normy DIN EN ISO 14644-1.
17. júna 2025
Autonomní mobilní robot pro polovodičový průmysl a vysoce citlivé aplikace v čistých prostorách
Robot KMR iisy CR, který se skládá z mobilní plošiny a šestiosého robota LBR iisy CR, je ideálním mobilním manipulátorem pro práci v čistém prostoru díky svým vlastnostem s nízkým obsahem částic a emisí a certifikaci ESD. Po rychlé a snadné instalaci umožňuje efektivně a hospodárně realizovat úlohy typu Pick-and-Place, přepravu materiálu nebo paletizaci ve skladu - ve výrobě polovodičů, ale i v různých dalších oblastech elektronického průmyslu.
Souhra hardwaru a softwaru zaměřená na budoucnost
Zatímco platforma se spoléhá na osvědčené softwarové řešení KUKA.AMR Fleet založené na umělé inteligenci jako správce vozového parku, rameno robota běží na iiQKA.OS2. Škálovatelný, flexibilně přizpůsobitelný operační systém s plnohodnotným virtuálním ovladačem robota (Virtual Robot Controller/VRC) je schopen pracovat s umělou inteligencí, je kyberneticky odolný a díky souladu s novou normou ISO 10218 je ideálně vybaven pro digitální výrobu budoucnosti. To znamená, že nejen hardware, ale i software pod krytem pochází od společnosti KUKA, což umožňuje přímou harmonizaci. Inteligentní systémy pomáhají zvládnout i náročné úkoly ve výrobě.
Výhody mobilních robotů: Optimální efekt nákladů a přínosů pro výrobu
Speciálně vyvinutá těsnění na všech šesti osách ramene robota zaručují nízké emise částic požadované pro splnění ISO třídy čistého prostoru 3. Robot je navíc vyroben z materiálů kompatibilních s čistými prostory, aby se uvolňování amoniaku nebo uhlovodíkových plynů omezilo na naprosté minimum. Vodivost celého robota je zaručena v souladu s normou DIN EN 61340, takže citlivé součásti - např. wafery - nejsou poškozeny elektrostatickým výbojem. Po finalizaci je robot znovu vyčištěn v podmínkách čistého prostoru, než je vyexpedován k zákazníkovi. Speciální obaly pro stroje pro čistý prostor zajišťují, že během přepravy nedojde ke kontaminaci částicemi. Povrchy robota jsou odolné vůči běžným čisticím chemickým prostředkům.
Nové standardy pro výrobu polovodičů
Díky flexibilním možnostem konverze se KMR iisy CR vyplatí používat jak pro velké, tak pro malé objemy, například při výrobě polovodičů a elektronických součástek. Mezi aplikace, ve kterých se mobilní robot pro čistý prostor používá, patří bezpečná manipulace s FOUP (Front Opening Unified Pods), SMIF POD nebo otevřenými kazetami. Mobilní robot je volitelně k dispozici s rozhraními E82 a E84 standardizovanými pro polovodičový průmysl, která umožňují nekomplikovanou integraci do stávajícího systému řízení materiálů.
