Là một phần của chứng nhận, Viện Fraunhofer cũng xác nhận khả năng tiêu tán tĩnh điện và hành vi thoát khí của rô-bốt di động tự hành. Do đó, nó đã được chứng minh là phù hợp để sử dụng trong các phòng sạch. Tại đây, nó có thể kết nối bất kỳ số lượng trạm nào mà không bị giới hạn như các giải pháp vận chuyển vật liệu thông thường. Ngoài ra, nó cũng có thể nhanh chóng chuyển đổi giữa các sản phẩm khác nhau, cho phép sản xuất các lô nhỏ với giá cả cạnh tranh.
Giải pháp tự động toàn diện: Rô-bốt phòng sạch KMR iisy CR thiết lập tiêu chuẩn
Giải pháp tự động hóa hiệu quả cho ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử: Với KMR iisy CR, KUKA cung cấp một rô-bốt di động tự hành (AMR) đa năng như một biến thể để sử dụng thông minh trong phòng sạch, với các loại tải trọng 11 và 15 kg. Các mẫu rô-bốt cho phòng sạch đã được chứng nhận bởi Viện Fraunhofer và đáp ứng các yêu cầu của phòng sạch ISO loại 3 theo tiêu chuẩn DIN EN ISO 14644-1.
17 Tháng Sáu 2025
Rô-bốt di động tự hành cho ngành công nghiệp bán dẫn và các ứng dụng phòng sạch có độ nhạy cao
Bao gồm một nền tảng di động và rô-bốt sáu trục LBR iisy CR, KMR iisy CR là một rô-bốt di động có tay máy tối ưu để làm việc trong phòng sạch nhờ vào đặc tính ít phát tán hạt, ít phát thải và chứng nhận ESD. Sau khi lắp đặt nhanh chóng và dễ dàng, nó sẽ có thể thực hiện hiệu quả và tiết kiệm chi phí các ứng dụng gắp và đặt, vận chuyển vật liệu hoặc nhiệm vụ xếp pallet trong kho trong lĩnh vực sản xuất bán dẫn, cũng như ở nhiều lĩnh vực khác của ngành công nghiệp điện tử.
Sự kết hợp tiên phong giữa phần cứng và phần mềm
Trong khi nền tảng di động sử dụng giải pháp phần mềm quản lý đội rô-bốt KUKA.AMR Fleet dựa trên AI đã được kiểm chứng, thì cánh tay rô-bốt lại chạy trên iiQKA.OS2. Hệ điều hành có thể mở rộng, linh hoạt thích ứng với Bộ điều khiển Rô-bốt ảo (Virtual Robot Controller/VRC) hoàn chỉnh được hỗ trợ AI, khả năng chống lại tấn công mạng và nhờ tuân thủ tiêu chuẩn ISO 10218 mới, được trang bị lý tưởng cho sản xuất kỹ thuật số trong tương lai. Điều này có nghĩa là không chỉ phần cứng mà cả phần mềm bên trong cũng do KUKA cung cấp, cho phép phối hợp trực tiếp với nhau. Các hệ thống thông minh cũng xử lý các nhiệm vụ đòi hỏi sự khắt khe trong sản xuất.
Nhờ có rô-bốt di động: Hiệu quả chi phí-lợi ích được tối ưu cho các dây chuyền sản xuất nhạy cảm
Các phớt được phát triển đặc biệt trên cả sáu trục của cánh tay rô-bốt đảm bảo lượng phát tán hạt thấp cần thiết để tuân thủ cấp độ phòng sạch ISO loại 3. Ngoài ra, rô-bốt còn được chế tạo bằng vật liệu tương thích với phòng sạch để giảm thiểu lượng khí amoniac hoặc khí hydrocarbon thải ra ngoài. Khả năng tiêu tán tĩnh điện của toàn bộ rô-bốt được đảm bảo theo tiêu chuẩn DIN EN 61340, nhờ đó các linh kiện nhạy cảm chẳng hạn như phiến bán dẫn wafer không bị hư hỏng do phóng tĩnh điện. Sau khi hoàn thành, rô-bốt được vệ sinh lại trong điều kiện phòng sạch đảm bảo trước khi đến tay khách hàng. Bao bì đặc biệt cho máy phòng sạch để đảm bảo rằng không xảy ra hiện tượng nhiễm bẩn hạt trong quá trình vận chuyển. Bề mặt của rô-bốt cũng có khả năng chống chịu lại các hóa chất tẩy rửa thông thường.
Tiêu chuẩn mới cho sản xuất chất bán dẫn
Nhờ các tùy chọn chuyển đổi linh hoạt, KMR iisy CR phù hợp cho cả sản xuất khối lượng lớn và nhỏ, ví dụ như sản xuất chất bán dẫn và linh kiện điện tử. Một số ứng dụng sử dụng rô-bốt phòng sạch di động bao gồm xử lý an toàn FOUP (Hộp chứa bán dẫn mở phía trước), SMIF POD hoặc các hộp cassette mở. Rô-bốt di động có tùy chọn sử dụng các giao diện E82 và E84 được chuẩn hóa cho ngành công nghiệp bán dẫn, cho phép tích hợp dễ dàng vào hệ thống kiểm soát vật liệu có.
