인증 과정의 일환으로 프라운호퍼 연구소는 자율 이동 로봇의 정전기 방전 능력 및 가스 배출 거동도 검증되었습니다. 따라서 클린룸에 매우 적합합니다. 기존 자재 운송 솔루션의 제약 없이 원하는 수의 스테이션을 연결할 수 있습니다. 또한 다양한 제품 간에 빠르게 전환할 수 있어 경쟁력 있는 가격으로 소량 배치가 가능합니다.
자율적인 멀티 플레이어: 표준을 제시하는 KMR iisy CR 클린룸 로봇
반도체 및 전자 산업을 위한 효과적인 자동화: KUKA는 가반하중 클래스 11 및 15킬로그램의 클린룸에서 지능적으로 사용할 수 있는 다목적 자율 이동 로봇(AMR) KMR iisy CR을 제공합니다. 클린룸용 모델은 프라운호퍼 연구소의 인증을 받았으며 DIN EN ISO 14644-1에 따라 ISO 클린룸 클래스 3의 요구 사항을 충족합니다.
2025년 6월 17일
반도체 산업 및 고도로 민감한 클린룸 애플리케이션을 위한 자율 이동 로봇
모바일 플랫폼 및 6축 로봇 LBR iisy CR로 구성된 KMR iisy CR은 저입자 및 저방사성, ESD 인증으로 클린룸 작업에 이상적인 모바일 머니퓰레이터입니다. 빠르고 간편한 설치 후 반도체 생산뿐만 아니라 전자 산업의 다양한 분야에서 픽 앤 플레이스 애플리케이션, 자재 운반 또는 창고 내 팔레트화 작업을 효율적이고 저비용으로 구현합니다.
하드웨어와 소프트웨어의 미래 지향적인 상호 작용
이 플랫폼은 검증된 AI 기반 소프트웨어 솔루션인 KUKA.AMR Fleet을 차량 관리자로 사용하지만, 로봇의 팔은 iiQKA.OS2에서 실행됩니다. 확장 가능하고 유연하게 커스터마이징이 가능한 이 운영 체제는 완전한 가상 로봇 컨트롤러(Virtual Robot Controller/VRC)를 갖추고 있으며, 새로운 ISO 10218 표준을 준수하여 AI를 지원하고 사이버 복원력을 갖추고 있어 미래의 디지털 제조에 이상적입니다. 즉 하드웨어뿐만 아니라 보닛 아래의 소프트웨어도 KUKA에서 제공하므로 직접적인 조화가 가능합니다. 지능형 시스템은 프로덕션의 까다로운 작업도 마스터할 수 있도록 도와줍니다.
모바일 로봇의 이점: 민감한 생산 현장에서 최적의 비용 편익 효과
클린룸 로봇의 6개 축 모두에 자체 개발된 씰이 있어 ISO 클린룸 등급 3을 준수하는 데 필요한 낮은 입자 배출을 보장합니다. 또한 로봇은 암모니아나 탄화수소 가스의 가스 방출을 최소한으로 줄이기 위해 클린룸에 적합한 재료로 만들어졌습니다. 전체 로봇의 전도성은 DIN EN 61340에 따라 보장되므로 웨이퍼와 같은 민감한 부품이 정전기 방전으로 인해 손상되지 않습니다. 완료 후 로봇은 고객에게 전달되기 이전 단계에 클린룸 조건에서 다시 청소됩니다. 클린룸 기계용 특수 포장은 운송 중 입자 오염이 발생하지 않도록 보장합니다. 로봇의 표면은 일반적인 청소용 화학 물질에 대한 내성이 있습니다.
반도체 생산을 위한 새로운 표준
유연한 전환 옵션 덕분에 반도체 및 전자 부품 생산과 같이 대량 및 소량 생산 모두에서 KMR iisy CR을 활용할 수 있습니다. 모바일 클린룸 로봇이 사용되는 애플리케이션 중 일부는 SMIF PODs, 오픈 카세트 또는 FOUP(Front Opening Unified Pods)를 안전하게 핸들링하는 것입니다. 이 모바일 로봇은 반도체 산업용으로 표준화된 E82 및 E84 인터페이스를 옵션으로 사용할 수 있어 기존 자재 관리 시스템에 간편하게 통합할 수 있습니다.
