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适用于半导体制造的净室机器人解决方案

适用于净室的 KUKA 技术和机器人符合半导体生产中对于纯净、清洁和功能的高要求。它们即便在非常短的周期时间内也能兼具极度移动性与最高精确度。


为半导体行业的严苛要求而设计:净室与安全性在 KUKA 极受重视。

针对净室,KUKA 专门提供了微粒少和排放低的机器人、协作机器人和平台,用于生产和安全地搬运高敏感的微电子元件。我们自己的生产也要在严苛的净室条件下完成。

KUKA 与系统合作伙伴一起,为半导体行业提供面向未来的工业 4.0 解决方案,通过协调软件和硬件满足联网与生产灵活性的要求。

人与机器人处于高度纯净的生产环境:高度自动化的未来半导体工厂。

比外科手术室更洁净:在 Infineon GmbH(英飞凌公司)大批量生产半导体芯片的净室环境达到 1 级。

由同一家公司提供适用于半导体生产的机器人技术

  • 净室机器人技术

    达到高净室等级的净室机器人与(移动)协作机器人,例如借助内置封闭的导向装置和管线,以及集成的驱动技术

     

  • 用于移动应用的软件

    符合国际半导体设备与材料协会 (SEMI) SECS 标准的智能软件包。

  • 工程设计与客户服务

    我们针对您的要求提供符合应用需求的个性化解决方案。
  • 符合全球标准的 KUKA TechCenter(技术中心)遍布世界各地

    在包括中国大陆和台湾在内的各个生产基地,KUKA TechCenter(技术中心)均可作为测试实验室供客户使用。

全面投入到净室:KUKA 半导体机器人和移动协作机器人。

精确而敏捷的机器人符合高净室等级:经弗劳恩霍夫研究所特别认证更为安全。

在开发机器人的时候我们就考虑到了净室相关标准。因此我们的标准机器人就已经满足高 ISO 等级,适用于许多净室应用。

 它们的每一个轴都采用了易于清洁的特殊表面以及专用底漆、密封件和涂层。它们符合 ESD 标准,并由弗劳恩霍夫研究所 IPA 进行了净室适用性检验。

净室对于生产硅晶片至关重要

弗劳恩霍夫研究所 IPA 是洁净生产和污染控制领域的世界领先机构。18 年来我们与 KUKA 紧密合作。一方面是弗劳恩霍夫研究所 Tested Device® 和 CSM® 认证工作,另一方面是对机器人的洁净技术方面的设计。

Frank Bürger 博士,弗劳恩霍夫研究所 IPA

发现适合您的任务的符合净室要求的运动系统: 

适用于净室的移动协作机器人:安全地搬运敏感部件。

未来的工业生产需要的是智能化、联网化、模块化、丰富多样、尤其是移动式的生产和物流方案。
移动净室协作机器人 (KMR iiwa) 确保在工艺流程之间安全地运输和搬运敏感部件(晶片、掩膜、载体)。它们在任意方向自主导航,并且无需护栏。

KUKA 移动协作机器人稳妥而安全地搬运具有极高精度和敏感度的载体。

KUKA TechCenter 技术中心测试实验室:机动领域的从量身定制的测试到一体化整体解决方案

我们在国际化的测试实验室中为客户执行无所不包、量身定制的半导体制造业或电子工业测试。我们根据项目、应用和需求提供可行性研究、接口测试和 24 小时测试运行,直至完备的解决方案。

电子书:采用 KUKA 净室机器人技术的下级自动化

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